티끌 하나 없는 정밀함으로 구현하는
자율 군집 로보틱스 인텔리전스
초당 100회 3D LiDAR·비전 SLAM 다중 센서 융합과 0.5mm 초정밀 도킹. 반도체·2차전지 클린룸 24개 사이트 24/7 가동을 가정한 예시 구성입니다.
24개 사이트 누적 주행 (예시)
클린룸 등급 대응 표기 (예시)
기존 유인 대차 대비 (예시)
라인 CAPEX 회수 가정 (예시)
무진동·무분진 차세대 클린룸 AMR 라인업
반도체 FOUP 웨이퍼 카세트부터 3톤 2차전지 전극 롤까지, 첨단 공정 맞춤형 로보틱스 플랫폼을 지원합니다.
AMR-500 클린룸 초정밀 웨이퍼 반송기
마이크로 단위 진동도 허용되지 않는 300mm FOUP 이송을 위한 자기부상 마그네틱 휠 및 에어 서스펜션 장착 모델입니다. 클린룸 Class 1 대응 설계와 파티클 흡입 제어 시스템을 가정한 예시 사양입니다.
NEXUS-OS 클라우드 디지털 트윈 관제 플랫폼
3차원 클린룸 팹 모델링과 0.01초 단위 분산 군집 제어를 가정한 관제 화면 예시입니다. 수백 대의 AMR 경로를 교착(Deadlock) 회피 규칙으로 배분하는 구성을 보여 줍니다.
- 반송 설비 표준 인터페이스 (E82 계열)CONNECTED
- 자동 반송 핸드셰이크 (E84 계열)READY
- 전사 ERP / MES Direct APIACTIVE
- 클린룸 공조 시스템 (FFU) 연동 제어SYNCED
AI Dynamic Traffic Routing
중앙 집약형 그래프 신경망(GNN)으로 교차로와 좁은 클린룸 통로의 데드락을 회피하고 통행 시간을 평균 34% 단축하는 것을 목표로 한 구성 예시입니다.
Laminar Airflow Optimization
로봇 이동 시 발생하는 미세 와류를 억제하도록 FFU(Fan Filter Unit) 기류 속도와 동기화하여 고청정 층류를 항시 유지합니다.
Enterprise 표준 프로토콜 연동
기존 제조 설비 및 상위 ERP/MES 수정 없이 표준 REST/gRPC/MQTT 프로토콜로 연동 테스트를 구성하는 화면 예시입니다.
클린룸 대응 규격 대조표
모델별 청정 등급·정전기·소음·도킹 정밀도를 한 표에서 비교합니다. 아래 값은 화면 구성을 보여 주기 위한 예시 표기입니다.
| 구분 | NX-500-CRAMR-500 (웨이퍼 카세트) | NX-1500-PLAMR-1500 (표준 파렛트) | NX-3000-HDAMR-3000 (전극 롤·중량물) |
|---|---|---|---|
| 대응 클린룸 등급 | 클린룸 Class 1 대응 (예시 표기) | 클린룸 Class 3 대응 (예시 표기) | 클린룸 Class 4·드라이룸 대응 (예시 표기) |
| 적재 중량 | 500 kg (웨이퍼 4 FOUP 동시 이송) | 1,500 kg (유로 파렛트 규격 대응) | 3,000 kg (초중량 전극 롤 전용) |
| 도킹 반복 정밀도 | ±0.3 mm (듀얼 3D 뎁스 비전) | ±0.5 mm (3D LiDAR + 마커 SLAM) | ±0.5 mm (하부 광학 비전 가이드) |
| 정전기 방전 (ESD) | < 10V (ESD Safe) | < 15V (ESD Safe) | < 20V (ESD Safe) |
| 주행 소음 | < 48 dBA | < 52 dBA | < 55 dBA |
| 최소 회전 반경 | 0 mm (Zero Turn) | 0 mm (Zero Turn) | 0 mm (Zero Turn) |
| 안전 센서 구성 | 안전 등급 2D 레이저 스캐너 × 2 (예시) | 안전 레이저 스캐너 + 3D 스캐닝 라이다 (예시) | 3D 플래시 라이다 4기 어레이 (예시) |
| 비전 구성 | 3D 뎁스 비전 카메라 × 2 (예시) | RGB-D 뎁스 카메라 × 2 (예시) | 코터 도킹 비전 어레이 (예시) |
| 배터리 · 가동 시간 | LiFePO4 12시간 (무선 급속 충전) | LiFePO4 14시간 (자동 도킹 충전) | LiFePO4 10시간 (2C 고속 무선 충전) |
저분진 구동부 설계
밀폐 섀시와 저발진 휠, 음압 흡입 구조로 주행 중 발생하는 파티클을 억제하는 구성을 가정했습니다.
정전기 · 아웃가스 관리
ESD 세이프 표면 처리와 저아웃가스 자재를 적용해 웨이퍼·극판 표면 오염을 줄이는 설계 예시입니다.
반입 전 검증 절차
반입 전 파티클 측정과 도킹 반복 정밀도 실측을 거치는 절차를 가정한 예시 안내입니다.
클린룸 무인 자동화 ROI 시뮬레이터
귀사의 팹 규모와 운영 교대 인력을 입력하여 예상 인건비 절감액 및 투자비(CAPEX) 회수 시점을 즉시 산출해 보세요.
연간 총 절감 및 도입 예상 효과 (예시 수치)
샘플 사이트입니다 — 실제 PDF 파일은 만들어지지 않습니다.
예시 고객사 구성 — 반도체 & 배터리 팹
아래 고객사 이름과 도입 사례는 화면 구성을 보여 주기 위한 예시이며 실제 고객사가 아닙니다.
A 사이트 — 반도체 패키징 클린룸
“AMR-500 도입 이후 웨이퍼 카세트 이송 과정의 인적 실수와 파티클 오염이 크게 줄었다는 가정으로 구성한 예시 후기입니다. 실제 고객사 발언이 아닙니다.”
B 사이트 — 2차전지 극판 라인
“3톤 전극 롤을 무인으로 코터 설비에 ±0.5mm 오차 이내로 도킹하는 운영을 가정한 예시 후기입니다. 실제 고객사 발언이 아닙니다.”
C 사이트 — 바이오의약품 생산동
“방진복 환복과 에어샤워로 쓰이던 엔지니어 이동 시간을 줄였다는 가정으로 구성한 예시 후기입니다. 실제 고객사 발언이 아닙니다.”
현장 엔지니어링 실사 & PoC 신청
NEXUS 수석 로보틱스 솔루션 아키텍트가 귀사 클린룸 팹의 평면도를 분석하고 맞춤 설계를 제안합니다.